產品詳情
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指標名稱 |
指標值 |
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電子槍工作電壓 |
10~120kV |
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電子槍發射模式 |
肖特基場發射 |
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最大發射束流 |
≥40nA |
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真空度 |
≤2.0E-9Torr |
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離子泵數量 |
2 |
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輻射防護 |
鉛屏蔽 |
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電子束合軸線圈 |
tilt/shift |
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真空保持方式 |
內置閘閥 |
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